Teknoloji
Epitaksi gwo bout bwa molekilè, oubyen MBE, se yon nouvo teknik pou fè fim mens kristal ki gen bon kalite grandi sou substrat kristal. Nan kondisyon vid ultra-wo, recho chofaj la ekipe ak tout kalite konpozan nesesè pou pwodui vapè. Li pase nan twou ki fòme apre kolimatasyon gwo bout bwa atomik oubyen molekilè a, epi li enjekte dirèkteman nan tanperati apwopriye substrat monokristal la. An menm tan, li kontwole eskanè gwo bout bwa molekilè a pou fè molekil yo oubyen atòm yo aliyen nan kouch kristal yo pou fòme yon fim mens "kwasans" sou substrat la.
Pou fonksyònman nòmal ekipman MBE a, li nesesè pou nitwojèn likid ki gen gwo pite, ba presyon ak ultra pwòpte kontinye transpòte li yon fason ki estab nan chanm refwadisman ekipman an. Anjeneral, yon tank ki bay nitwojèn likid gen yon presyon pwodiksyon ant 0.3MPa ak 0.8MPa. Nitwojèn likid a -196 ℃ fasil pou vaporize an nitwojèn pandan transpò nan tiyo a. Yon fwa nitwojèn likid la ak yon rapò gaz-likid apeprè 1:700 gazifye nan tiyo a, li pral okipe yon gwo kantite espas koule nitwojèn likid epi redwi koule nòmal la nan fen tiyo nitwojèn likid la. Anplis de sa, nan tank depo nitwojèn likid la, gen anpil chans pou gen debri ki pa netwaye. Nan tiyo nitwojèn likid la, prezans lè mouye ap mennen tou nan jenerasyon salop glas. Si enpurte sa yo dechaje nan ekipman an, sa ap lakòz domaj enprevizib nan ekipman an.
Se poutèt sa, nitwojèn likid ki nan tank depo deyò a transpòte nan ekipman MBE a nan atelye san pousyè a avèk efikasite segondè, estabilite ak pwòpte, ak presyon ki ba, pa gen nitwojèn, pa gen enpurte, 24 èdtan san entèripsyon, sistèm kontwòl transpò sa a se yon pwodwi kalifye.



Ekipman MBE ki koresponn
Depi 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ap optimize epi amelyore sistèm sa a epi kolabore ak manifaktirè ekipman MBE entènasyonal yo. Manifaktirè ekipman MBE yo, tankou DCA, REBER, gen relasyon kowoperatif ak konpayi nou an. Manifaktirè ekipman MBE yo, tankou DCA ak REBER, te kolabore nan yon gwo kantite pwojè.
Riber SA se yon founisè mondyal dirijan nan pwodwi epitaksi gwo bout molekilè (MBE) ak sèvis ki gen rapò pou rechèch sou semi-kondiktè konpoze ak aplikasyon endistriyèl. Aparèy Riber MBE a ka depoze kouch materyèl trè mens sou substra a, avèk kontwòl trè wo. Ekipman vakyòm HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ekipe ak ekipman Riber SA. Pi gwo ekipman an se Riber 6000 epi pi piti a se Compact 21. Li an bon kondisyon epi kliyan yo te rekonèt li.
DCA se pi gwo MBE oksid nan mond lan. Depi 1993, yo te fè devlopman sistematik teknik oksidasyon, chofaj substrat antioksidan ak sous antioksidan. Pou rezon sa a, anpil laboratwa dirijan te chwazi teknoloji oksid DCA. Sistèm MBE semi-kondiktè konpoze yo itilize atravè lemond. Sistèm sikilasyon nitwojèn likid VJ nan HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ak ekipman MBE nan plizyè modèl DCA yo gen eksperyans ki koresponn nan anpil pwojè, tankou modèl P600, R450, SGC800 elatriye.

Tablo Pèfòmans
Enstiti Fizik Teknik Shanghai, Akademi Syans Chinwa |
11yèm Enstiti Kòporasyon Teknoloji Elektwonik Lachin nan |
Enstiti Semi-kondiktè, Akademi Syans Chinwa |
Huawei |
Akademi Alibaba DAMO |
Teknoloji Powertech Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Dat piblikasyon: 26 me 2021