Sistèm refwadisman nitwojèn likid yo lajman ki itilize nan endistri semi-conducteurs ak chip, ki gen ladan pwosesis,
- Teknoloji Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Tès chip la apre pake COB
Pwodwi ki gen rapò
Vacuum izole tiyo seri
Vacuum izole fleksib kawotchou seri
Sistèm ponp vakyòm dinamik
Vacuum izole Faz Separatè Seri
Vacuum izole Valv Seri
Ekipman sipò sistèm kanalizasyon
EPITAKSYON BEAM MOLEKILÈ
Teknoloji Molecular Beam Epitaxy (MBE) te devlope nan ane 1950 yo pou prepare materyèl fim mens semi-conducteurs lè l sèvi avèk teknoloji evaporasyon vakyòm. Avèk devlopman teknoloji vakyòm ultra-segondè, aplikasyon an nan teknoloji te pwolonje nan jaden an nan syans semi-conducteurs.
HL te remake demann lan nan sistèm refwadisman nitwojèn likid MBE, òganize zo rèl do teknik pou devlope avèk siksè yon sistèm espesyal MBE likid nitwojèn cooing pou teknoloji MBE ak yon seri konplè nan sistèm tiyo izole vakyòm, ki te itilize nan anpil antrepriz, inivèsite ak enstiti rechèch. .
Pwoblèm komen nan endistri semi-conducteurs ak chip yo enkli,
- Presyon Azòt likid nan Ekipman Tèminal (MBE). Anpeche Surcharge Presyon soti nan Domaj Tèminal (MBE) Ekipman.
- Plizyè Inlet likid kriyojenik ak kontwòl priz
- Tanperati Azòt likid nan Ekipman Tèminal
- Yon Kantite Rezonab nan Emisyon Gaz Kriyojenik
- (Otomatik) Chanjman nan liy prensipal ak branch
- Ajisteman presyon (diminye) ak estabilite VIP
- Netwaye enpurte posib yo ak rezidi glas nan tank
- Tan ranpli nan ekipman likid tèminal la
- Pipeline Precooling
- Rezistans likid nan sistèm VIP
- Kontwòl Pèt Azòt Likid pandan Sèvis Diskontinu nan Sistèm nan
Tiyo vakyòm izole (VIP) HL a bati nan kòd ASME B31.3 Presyon tiyo kòm yon estanda. Eksperyans jeni ak kapasite kontwòl kalite asire efikasite ak pri-efikasite nan plant kliyan an.
SOLISYON
Ekipman kriyojenik HL bay kliyan yo sistèm tiyo izolasyon vakyòm pou satisfè kondisyon ak kondisyon endistri semi-conducteurs ak chip:
1.Quality Jesyon Sistèm: ASME B31.3 Presyon Piping Kòd.
2.Yon Separatè Faz Espesyal ak plizyè Inlet likid kriyojenik ak Outlet ak fonksyon kontwòl otomatik satisfè egzijans emisyon gaz, azòt likid resikle ak tanperati azòt likid.
3.Konsepsyon echapman apwopriye ak alè asire ke ekipman tèminal toujou ap travay nan valè presyon ki fèt la.
4.Baryè gaz-likid la mete nan tiyo VI vètikal nan fen tiyo VI. Baryè gaz-likid sèvi ak prensip sele gaz la pou bloke chalè ki soti nan fen tiyo VI a nan tiyo VI a, epi efektivman redwi pèt nitwojèn likid pandan sèvis discontinu ak tanzantan nan sistèm lan.
5.VI Piping Kontwole pa Vacuum Isolated Valv (VIV) Seri: Ki gen ladan Vacuum Izolasyon (Pneumatic) Valv fèmen, Vacuum Izolasyon Valv Tcheke, Vacuum Izolasyon Valv Regilasyon elatriye. Divès kalite VIV ka modilè konbine kontwole VIP a kòm obligatwa. VIV se entegre ak VIP prefabrikasyon nan manifakti, san yo pa sou plas tretman izole. Inite sele VIV ka ranplase fasil. (HL aksepte mak valv kriyojenik kliyan yo deziyen, ak Lè sa a, fè tiyo izole vakyòm pa HL. Gen kèk mak ak modèl tiyo ka pa kapab fèt nan tiyo izole vakyòm.)
6.Pwòpte, si gen kondisyon adisyonèl pou pwòpte sifas tib enteryè. Li sigjere ke kliyan chwazi BA oswa EP tiyo asye pur kòm tiyo enteryè VIP pou plis diminye koule asye pur.
7.Vacuum izole filtè: Netwaye enpurte posib yo ak rezidi glas nan tank.
8.Apre kèk jou oswa plis fèmen oswa antretyen, li trè nesesè pou precool VI Piping ak ekipman tèminal anvan yo antre nan likid kriyojenik, konsa tankou pou fè pou evite salop glas apre likid kriyojenik antre dirèkteman nan VI Piping ak ekipman tèminal. Fonksyon precooling ta dwe konsidere nan konsepsyon. Li bay pi bon pwoteksyon pou ekipman tèminal ak ekipman sipò VI Piping tankou tiyo.
9.Suit pou tou de dinamik ak estatik vakyòm izole (fleksib) sistèm kanalizasyon.
10.Dynamic Vacuum izole (Fleksib) Piping System: Konsiste de VI Flexible Kawoutchou ak / oswa VI Tiyo, Kavalye Kawotchou, Vacuum izole Valv Sistèm, Faz Separatè ak Sistèm ponp vakyòm dinamik (ki gen ladan ponp yo vakyòm, tiyo solenoid ak mezi vakyòm elatriye. ). Longè yon sèl VI Flexible Kawoutchou ka Customized selon kondisyon itilizatè a.
11.Divès kalite Koneksyon: Kalite Vacuum Bayonet Connection (VBC) ak Koneksyon soude ka chwazi. Kalite VBC a pa bezwen tretman izole sou plas.
