Sistèm refwadisman likid nitwojèn yo lajman itilize nan endistri semi -conducteurs & chip, ki gen ladan pwosesis la nan,
- Teknoloji a nan epitaksi gwo bout bwa molekilè (MBE)
- Tès chip la apre pake Cob
Pwodwi ki gen rapò
Vacuum izole seri tiyo
Vacuum izole seri kawotchou fleksib
Sistèm ponp dinamik vakyòm
Vacuum izole seri separatè faz
Vacuum izole seri valv
Ekipman Sistèm Sistèm Sistèm
Epitaksi gwo bout bwa molekilè
Teknoloji a nan epitaksi gwo bout bwa molekilè (MBE) te devlope nan ane 1950 yo pou prepare semi -conducteurs materyèl fim mens lè l sèvi avèk teknoloji evaporasyon vakyòm. Avèk devlopman nan teknoloji ultra-segondè vakyòm, aplikasyon an nan teknoloji te pwolonje nan jaden an nan syans semi-conducteurs.
HL te remake demann lan nan sistèm refwadisman nitwojèn likid MBE, òganize zo bwa tèt teknik yo avèk siksè devlope yon espesyal MBE likid sistèm nitwojèn cooing pou teknoloji MBE ak yon seri konplè nan sistèm vakyòm izole, ki te itilize nan anpil antrepriz, inivèsite ak enstiti rechèch .
Pwoblèm yo komen nan Semiconductor & Chip endistri a gen ladan yo,
- Presyon nan azòt likid nan tèminal (MBE) ekipman yo. Anpeche Surcharge presyon soti nan domaj tèminal (MBE) ekipman yo.
- Miltip likid kriyojenik ak kontwòl priz
- Tanperati a nan azòt likid nan ekipman tèminal
- Yon kantite lajan rezonab nan emisyon gaz kriyojeni
- (Otomatik) oblije chanje nan liy prensipal ak branch
- Ajisteman presyon (diminye) ak estabilite nan VIP
- Netwayaj lwen enpurte posib ak rezidi glas soti nan tank la
- Ranpli tan nan ekipman an likid tèminal
- Tiyo precooling
- Rezistans likid nan sistèm VIP
- Pèt kontwòl nan nitwojèn likid pandan sèvis diskontinu nan sistèm lan
Vacuum HL a izole tiyo (VIP) se bati nan ASME B31.3 Presyon kanalizasyon Kòd kòm yon estanda. Eksperyans jeni ak kapasite kontwòl kalite asire efikasite a ak pri-efikasite nan plant kliyan an.
Solisyon
Ekipman kriyojenik HL bay kliyan ak sistèm nan tiyo izolasyon vakyòm satisfè kondisyon yo ak kondisyon nan endistri a semi -conducteurs & chip:
1. Sistèm Jesyon Kalite: ASME B31.3 Kòd Presyon Tiyo.
2. Yon separatè faz espesyal ak plizyè inlet likid kriyojenik ak priz ak fonksyon kontwòl otomatik satisfè kondisyon an nan emisyon gaz, resikle nitwojèn likid ak tanperati nan nitwojèn likid.
3. Design ak alè ak alè konsepsyon asire ke ekipman tèminal toujou ap travay nan valè a presyon ki fèt.
4. Baryè gaz-likid la mete yo nan tiyo a vètikal VI nan fen tiyo VI. Baryè gaz-likid sèvi ak prensip la sele gaz yo bloke chalè a soti nan fen tiyo a VI nan kanal la VI, ak efektivman diminye pèt la nan azòt likid pandan sèvis diskontinu ak tanzantan nan sistèm lan.
5.Vi kanalizasyon kontwole pa Vacuum izole valv la (VIV) seri: ki gen ladan vakyòm izole (Pneumatic) valv fèmen, vakyòm izole valv chèk, vakyòm izole reglemante elatriye. Divès kalite Viv ka modilè konbine kontwole VIP a kòm obligatwa. VIV se entegre ak prefabrikasyon VIP nan manifakti, san yo pa sou-sou sit tretman izole. Ka inite a sele nan Viv dwe ranplase fasil. (HL aksepte mak nan valv kriyojenik ki deziyen pa kliyan yo, ak Lè sa a, fè vakyòm tiyo izole pa HL. Gen kèk mak ak modèl nan tiyo ka pa kapab fè nan vakyòm izole tiyo.)
6.cleanliness, si gen kondisyon adisyonèl pou pwòpte sifas enteryè tib. Li se sijere ke kliyan chwazi BA oswa EP tiyo asye pur kòm VIP tiyo enteryè yo pli lwen diminye devèsman asye pur.
7.Vacuum izole filtre: Netwaye lwen enpurte posib ak rezidi glas soti nan tank la.
8.Apre kèk jou oswa pi long are oswa antretyen, li trè nesesè yo pre -polon VI tiyo a ak ekipman tèminal anvan yo se likid kriyojenik antre nan, konsa pou fè pou evite glas salop apre likid kriyojenik dirèkteman antre nan tiyo a VI ak ekipman tèminal. Yo ta dwe konsidere fonksyon presan nan konsepsyon. Li bay pi bon pwoteksyon pou ekipman tèminal ak ekipman sipò VI tiyo tankou tiyo.
9.Suit pou tou de dinamik ak estatik vakyòm izole (fleksib) sistèm kanalizasyon.
10. ). Ka longè a nan sèl VI kawotchou fleksib dwe Customized dapre kondisyon itilizatè a.
11. Various Kalite Koneksyon: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Kalite ak soude koneksyon ka chwazi. Kalite VBC a pa bezwen tretman izole sou sit la.
