Rezime sou Epitaksi Gwo Fas Molekilè (MBE)
Yo te devlope teknoloji Epitaksi Gwosè Molekilè (MBE) nan ane 1950 yo pou prepare materyèl fim mens semi-kondiktè lè l sèvi avèk teknoloji evaporasyon vakyòm. Avèk devlopman teknoloji ultra-wo vakyòm, aplikasyon teknoloji a te pwolonje nan domèn syans semi-kondiktè.
Motivasyon rechèch sou materyèl semi-kondiktè se demann pou nouvo aparèy, ki ka amelyore pèfòmans sistèm nan. An retou, nouvo teknoloji materyèl yo ka pwodui nouvo ekipman ak nouvo teknoloji. Epitaksi gwo bout bwa molekilè (MBE) se yon teknoloji vakyòm wo pou kwasans kouch epitaksi (anjeneral semi-kondiktè). Li itilize gwo bout bwa chalè atòm sous oswa molekil ki afekte substrat monokristal. Karakteristik vakyòm ultra wo pwosesis la pèmèt metalizasyon in situ ak kwasans materyèl izolan sou sifas semi-kondiktè ki fèk grandi, sa ki lakòz entèfas san polisyon.
Teknoloji MBE
Epitaksi gwo bout molekilè a te fèt nan yon gwo vakyòm oswa yon gwo vakyòm (1 x 10-8Pa). Aspè ki pi enpòtan nan epitaksi gwo bout molekilè a se to depo ki ba li a, ki anjeneral pèmèt fim nan grandi epitaksièlman nan yon to mwens pase 3000 nm pa èdtan. Yon to depo ki ba konsa mande yon vakyòm ki ase wo pou rive nan menm nivo pwòpte ak lòt metòd depo yo.
Pou satisfè ultra-vakyòm ki dekri pi wo a, aparèy MBE a (selil Knudsen) gen yon kouch refwadisman, epi anviwònman ultra-vakyòm chanm kwasans lan dwe kenbe lè l sèvi avèk yon sistèm sikilasyon nitwojèn likid. Nitwojèn likid la refwadi tanperati entèn aparèy la a 77 Kelvin (-196 °C). Anviwònman tanperati ki ba a ka diminye plis kontni enpurte nan vakyòm nan epi bay pi bon kondisyon pou depo fim mens yo. Se poutèt sa, yon sistèm sikilasyon refwadisman nitwojèn likid dedye nesesè pou ekipman MBE a bay yon rezèv kontinyèl ak fiks nitwojèn likid -196 °C.
Sistèm Sikilasyon Refwadisman Azòt Likid
Sistèm sikilasyon refwadisman azòt likid vakyòm lan gen ladan sitou,
● tank kriyojenik
● tiyo prensipal ak branch ki gen jakèt vakyòm / kawotchou ki gen jakèt vakyòm
● Separatè faz espesyal MBE ak tiyo echapman anba vakyòm
● divès kalite tiyo ki gen jakèt vakyòm
● baryè gaz-likid
● filtè ak jakèt vakyòm
● sistèm ponp vakyòm dinamik
● Sistèm pre-refwadisman ak rechofaj pou pirifikasyon
Konpayi HL Cryogenic Equipment te remake demann pou sistèm refwadisman azòt likid MBE a, li te òganize yon baz teknik pou devlope avèk siksè yon sistèm refwadisman azòt likid MBE espesyal pou teknoloji MBE ak yon seri konplè izolasyon vakyòm.edsistèm tiyo, ki te itilize nan anpil antrepriz, inivèsite ak enstiti rechèch.
Ekipman kriyojenik HL
HL Cryogenic Equipment, ki te fonde an 1992, se yon mak afilye ak Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company nan Lachin. HL Cryogenic Equipment angaje nan konsepsyon ak fabrikasyon Sistèm Tiyo Kriyojenik Izole anba Gwo Vakyòm ak Ekipman Sipò ki gen rapò.
Pou plis enfòmasyon, tanpri vizite sit entènèt ofisyèl lawww.hlcryo.com, oubyen voye yon imèl bayinfo@cdholy.com.
Dat piblikasyon: 6 me 2021
