Epitaksi gwo bout bwa molekilè ak sistèm sikilasyon azòt likid nan endistri semi-kondiktè ak chip

Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)

Teknoloji Molecular Beam Epitaxy (MBE) te devlope nan ane 1950 yo pou prepare materyèl fim mens semi-conducteurs lè l sèvi avèk teknoloji evaporasyon vakyòm.Avèk devlopman teknoloji vakyòm ultra-segondè, aplikasyon an nan teknoloji te pwolonje nan jaden an nan syans semi-conducteurs.

Motivasyon rechèch materyèl semi-conducteurs se demann pou nouvo aparèy, ki ka amelyore pèfòmans sistèm lan.Nan vire, nouvo teknoloji materyèl ka pwodwi nouvo ekipman ak nouvo teknoloji.Epitaksi molekilè gwo bout bwa (MBE) se yon teknoloji vakyòm segondè pou kwasans kouch epitaksi (anjeneral semi-conducteurs).Li sèvi ak gwo bout bwa chalè nan atòm sous oswa molekil ki afekte yon sèl substra kristal.Karakteristik vakyòm ultra-wo nan pwosesis la pèmèt metalizasyon an plas ak kwasans materyèl izolasyon sou sifas semi-conducteurs ki fèk grandi, sa ki lakòz interfaces polisyon-gratis.

nouvèl bg (4)
nouvèl bg (3)

Teknoloji MBE

Epitaksi molekilè gwo bout bwa a te pote soti nan yon vakyòm segondè oswa ultra-wo vakyòm (1 x 10-8Pa) anviwònman.Aspè ki pi enpòtan nan epitaksi molekilè gwo bout bwa se pousantaj depo ki ba li yo, ki anjeneral pèmèt fim nan epitaksi grandi nan yon pousantaj mwens pase 3000 nm pou chak èdtan.Yon pousantaj depozisyon ki ba konsa mande pou yon vakyòm wo ase pou reyalize menm nivo pwòpte ak lòt metòd depo.

Pou satisfè vakyòm ultra-segondè ki dekri pi wo a, aparèy MBE a (selil Knudsen) gen yon kouch refwadisman, epi anviwònman an vakyòm ultra-wo nan chanm kwasans lan dwe konsève lè l sèvi avèk yon sistèm sikilasyon nitwojèn likid.Azòt likid refwadi tanperati entèn aparèy la a 77 Kelvin (-196 °C).Anviwònman tanperati ki ba a ka plis redwi kontni an nan enpurte nan vakyòm ak bay pi bon kondisyon pou depo fim mens.Se poutèt sa, yon sistèm sikilasyon refwadisman likid nitwojèn dedye obligatwa pou ekipman MBE a bay yon rezèv kontinyèl ak fiks nan -196 °C nitwojèn likid.

Sistèm sikilasyon refwadisman Azòt likid

Sistèm sikilasyon refwadisman azòt likid vakyòm gen ladan sitou,

● tank kriyojenik

● prensipal ak branch vakyòm jacketed tiyo / vakyòm jacketed kawotchou

● MBE espesyal faz separateur ak vakyòm jacketed tiyo echapman

● divès kalite vakyòm jacketed tiyo

● baryè gaz-likid

● vakyòm jacketed filtre

● sistèm ponp vakyòm dinamik

● Precooling ak purge sistèm rechofaj

HL Cryogenic Equipment Company te remake demann lan nan sistèm refwadisman nitwojèn likid MBE, òganize zo rèl do teknik pou devlope avèk siksè yon sistèm espesyal MBE likid nitwojèn pou teknoloji MBE ak yon seri konplè izolasyon vakyòm.edsistèm kanalizasyon, ki te itilize nan anpil antrepriz, inivèsite ak enstiti rechèch.

nouvèl bg (1)
nouvèl bg (2)

HL Ekipman kriyojenik

HL Cryogenic Equipment ki te fonde an 1992 se yon mak ki afilye ak Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company nan Lachin.Ekipman kriyojenik HL angaje nan konsepsyon ak fabrikasyon sistèm tiyo kriyojenik ki izole ak vakyòm segondè ak ekipman sipò ki gen rapò.

Pou plis enfòmasyon, tanpri vizite sit entènèt ofisyèl lawww.hlcryo.com, oswa imèl bayinfo@cdholy.com.


Lè poste: Me-06-2021